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微机电系统的优点是：体积小、重量轻、功耗低、耐用性好、价格低廉、性能稳定等。微机电系统的出现和发展是科学创新思维的结果，使微观尺度制造技术的演进与革命。微机电系统是当前交叉学科的重要研究领域，涉及电子工程、材料工程、机械工程、信息工程等多项科学技术工程，将是未来国民经济和军事科研领域的新增长点。MEMS(微机电系统)蕞初大量用于汽车安全气囊，无线振动传感器公司，而后以MEMS传感器的形式被大量应用在汽车的各个领域，随着MEMS技术的进一步发展，以及应用终端“轻、薄、短、小”的特点，对小体积的MEMS产品需求增势迅猛，无线振动传感器，消费电子、医l疗等领域也大量出现了MEMS产品的身影。

如今智能传感器已广泛应用于航天、航海、工农业和交通等各个领域中。

国l防军事：军事力量是衡量一国国l防实力和综合实力的关键指标，无线振动传感器原理，对于国l防建设具有重要的作用。作为军事力量的重要组成部分，武l器系统的性能决定了军事***作战的成败，在武l器系统中引入智能传感器不仅能够实时监测战场形势变化从而及时调整侦察和作战计划，而且可以通过应用各类微小传感装置实现隐蔽性监视，为摧毁敌人目标点和攻击武l装力量奠定技术和环境基础。

1、微机电系统技。MEMS技术是制造微型、低成本、低功耗传感器节点的关键技术。这种技术是建立在制造微米级机械加工技术基础上，通过采用高度集成工序，能够制造出各种机电部件和复杂的微机电系统。微机电系统是微电路和微机械按功能要求在芯片上的集成，尺寸通常在毫米或微米级，自八十年代中后期崛起以来发展极其迅速，被认为是继微电子之后又一个对国民经济和军事具有重大影响的技术领域，将成为21世纪新的国民经济增长点和提高军事能力的重要技术途径。